太陽熱オーブン用ベルトの中国サプライヤー工場 - 太陽電池モジュール組立用高性能乾燥ソリューション
製品説明
当社のソーラー乾燥機用メッシュベルトは、帯電防止コーティングを施した316Lステンレス鋼を使用しており、太陽電池バックシートの電着塗装およびプレラミネート乾燥用に設計されています。耐薬品性に優れた構造で、酸洗浄にも耐えます。
江蘇華大の太陽電池乾燥炉ベルトは、単結晶／多結晶シリコン製造における重要な水分除去のために設計されています。当社の316Lステンレス鋼製コンベアシステムは、以下の特長を備えています。
- 残留水分量5ppm未満（FTIR分析により確認済み）
- 従来のメッシュベルトと比較して、乾燥サイクルが30%高速化
- 金属汚染ゼロ（ICP-MSによる検査結果：0.1ppb未満）
主な用途:
- テクスチャリング後の洗浄と乾燥
- PSG除去すすぎ乾燥
- エッジ分離プロセス乾燥
技術的な利点
優れた耐薬品性
- 1～10％のHF/HNO3残留物に耐える
- 1,000時間塩水噴霧試験（ASTM B117）に合格
乾燥性能の最適化
- 層流気流を実現する85%の開口率設計
- 鏡面研磨された表面（Ra ≤0.4μm）は水の付着を最小限に抑えます
薄型ウェハー保護
- ESD対応（表面抵抗10⁶～10⁹Ω）
- 丸みを帯びたエッジガイドにより、破損率は0.05%未満に抑えられます。
性能比較表
| パラメータ | 華大乾燥ベルト | 業界標準 |
|---|---|---|
| 耐酸性 | 最大10%のHF | 5%以下のHF |
| 乾燥均一性 | ±1.5%RH | ±5%RH |
| 破断率（160μm） | 0.03% | 0.15～0.3% |
| エネルギー消費量 | 8.2 kW·h/m² | 12.5 kW·h/m² |
アプリケーション紹介
チャレンジ： テクスチャード加工されたウェハー上での乾燥ムラは、効率低下の原因となる。
解決：
- 材質：316L電解研磨ステンレス鋼
- 構造：スタンドオフ設計により接触面積が減少
検証:
- 乾燥時間が22%短縮（180秒 → 140秒）
- 金属汚染度：0.1ppb未満（ICP-MS）
顧客事例紹介
華大の乾燥ベルトに切り替えた後、以下の成果を達成しました。破損率0.03%（従来は0.18%）
年間7万5千ユーロの液体窒素コスト削減
3年間のDH2000試験後、腐食はゼロでした。
詳細画像
よくある質問
御社のソーラー乾燥機のメッシュベルトには、どのような素材が使用されていますか？
当社のメッシュベルトは、帯電防止コーティングを施した316L電解研磨ステンレス鋼を使用して製造されており、酸洗浄にも耐える耐薬品性構造を備えています。
乾燥ベルトは残留水分に関してどのような性能を発揮しますか？
当社のコンベアシステムは、極めて高い水分除去性能を実現するように設計されており、FTIR分析によって検証された残留水分量を5ppm未満に抑えます。
コンベアベルトは強力な化学薬品に耐性がありますか？
はい、優れた耐薬品性を備えています。1～10%のHF/HNO3残留物にも容易に耐え、厳しい1,000時間塩水噴霧試験（ASTM B117）にも合格しています。
ベルトはどのようにして薄いウェハーを破損から守るのですか？
このベルトは、ESD対策設計（表面抵抗10⁶～10⁹Ω）と丸みを帯びたエッジガイドを採用しており、ウェーハの破損率を0.05%未満に効果的に低減します。
業界標準と比較して、エネルギー消費面でどのようなメリットがありますか？
当社の乾燥ベルトは非常にエネルギー効率が高く、消費電力はわずか8.2kW・h/m²で、業界標準の12.5kW・h/m²と比較して大幅に低くなっています。