モジュール組立用太陽熱オーブンベルト
製品説明
当社のソーラー乾燥機用メッシュベルトは、帯電防止コーティングを施した316Lステンレス鋼を使用しており、太陽電池バックシートの電着塗装およびプレラミネート乾燥用に設計されています。耐薬品性に優れた構造で、酸洗浄にも耐えます。
江蘇華大の太陽電池乾燥炉ベルトは、単結晶／多結晶シリコン製造における重要な水分除去のために設計されています。当社の316Lステンレス鋼製コンベアシステムは、以下の特長を備えています。
残留水分量5ppm未満（FTIR分析により確認済み）
従来のメッシュベルトと比較して、乾燥サイクルが30%高速化
金属汚染ゼロ（ICP-MSによる検査結果：0.1ppb未満）
主な用途:
→ テクスチャリング後の洗浄乾燥
→ PSG除去すすぎ乾燥
→ エッジ分離プロセスの乾燥
技術的な利点（箇条書き）
√優れた耐薬品性
1～10％のHF/HNO3残留物に耐える
1,000時間塩水噴霧試験（ASTM B117）に合格
√ 最適化された乾燥性能
層流気流を実現する85%の開口率設計
鏡面研磨された表面（Ra ≤0.4μm）は水の付着を最小限に抑えます
√ 薄型ウェハー保護
ESD対応（表面抵抗10⁶～10⁹Ω）
丸みを帯びたエッジガイドにより、破損率は0.05%未満に抑えられます。
性能比較表
| パラメータ | 華大乾燥ベルト | 業界標準 |
| 耐酸性 | 最大10%のHF | 5%以下のHF |
| 乾燥均一性 | ±1.5%RH | ±5%RH |
| 破断率（160μm） | 0.03% | 0.15～0.3% |
| エネルギー消費量 | 8.2 kW·h/m² | 12.5 kW·h/m² |
アプリケーション紹介
課題：テクスチャード加工されたウェハー上での乾燥ムラは、効率低下の原因となる。
解決：
材質：316L電解研磨ステンレス鋼
構造：スタンドオフ設計により接触面積が減少
検証:
・乾燥時間が22%短縮（180秒 → 140秒）
・金属汚染濃度
顧客事例紹介
TOPConセル製造業者からの推薦の声：
華大の乾燥ベルトに切り替えた後、以下の成果を達成しました。
破損率0.03%（従来は0.18%）
年間7万5千ユーロの液体窒素コスト削減
3年間のDH2000試験後、腐食はゼロでした。
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